特許
J-GLOBAL ID：200903054818104306
リニアイメージセンサのガラス基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
楠本 高義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185691
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013743
出願日： 1991年06月30日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 大面積のガラス基板から長尺のリニアイメージセンサを同時に複数製造するのにあたり、一定の大きさのガラス基板に形成し得るリニアイメージセンサの数を多くして製造コストを低減させるとともに、製造工程でリニアイメージセンサにダメージを与える工程をなくすことにある。【構成】 ガラス基板13(12)の厚さが0.3〜1.1mm、好ましくは0.4〜0.8mm、より好ましくは0.5〜0.75mmのものを採用し、製造されるリニアイメージセンサ10の副走査方向の幅を1.0〜4.0mm、より好ましくは1.9〜3.5mmにした。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に、下部電極と半導体層と上部電極とから成る半導体素子と、該半導体素子を覆って絶縁する層間絶縁膜と、該層間絶縁膜を介して配される配線とを備えて構成されるリニアイメージセンサの該ガラス基板において、厚さが0.3〜1.1mm好ましくは0.4〜0.8mmであり、副走査方向の幅が1.0〜4.0mmであることを特徴とするリニアイメージセンサのガラス基板。
IPC (2件)：
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