特許

J-GLOBAL ID：200903054821590009

基板外観検査装置

発明者： 城野 哲 ,  大谷 昌司
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230488
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072722
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 基板表面の欠陥を確実に検査する。【解決手段】 照明ユニット7からの光に基づいて平行光生成部8にて平行光を生成し、ハーフミラー9を介して、基板4の表面に垂直方向に平行光を入射する。そして、基板4からの反射光をCCDカメラ6により撮像し、撮像された画像の異常部の欠陥検出画素数pxを計数し、これを欠陥体積vに換算して、欠陥の大きさを判定する。また、基板4の表面に一般拡散照明をしつつ、基板4の表面をCCDカメラ11により撮像し、撮像された画像から欠陥面積Aを求める。そして、欠陥高さ若しくは欠陥深さd=v/(k・A)を算出し、これからも欠陥判定する。

請求項（抜粋）：

基板の表面に垂直方向に平行光を入射する平行光入射手段と、前記平行光の基板からの反射光を撮像する反射光撮像手段と、この反射光撮像手段により撮像された異常部の画像に基づいて欠陥の大きさを判定する欠陥判定手段と、を含んで構成される基板外観検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 ,  G11B 5/84

FI (6件)：

G01B 11/02 H ,  G01B 11/30 C ,  G01N 21/88 F ,  G11B 5/84 C ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 355