特許

J-GLOBAL ID：200903054821612266

投影光学系及び投影露光装置

発明者： 笹谷 俊博 ,  牛田 一雄 ,  末永 豊 ,  ロメオ アイ. メルカド
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265308
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179204
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【課題】 露光領域が大きく、解像度が高く、開口数の大きな投影光学系及びそれを備えた露光装置を提供する。【解決手段】 投影光学系は、第1の物体R上の像を、一定の縮小率で、第2の物体W上に投影する。投影光学系は、第1の物体Rの側から見て順に、正の屈折力を有する第1のレンズ群と、実質的にアフォーカル系から成る第2のレンズ群と、正の屈折力を有する第3のレンズ群とを備える。全系の焦点距離をF、投影光学系の投影倍率をB、第1の物体と第2の物体との間の距離をL、投影光学系の光軸に対して平行な、投影光学系の第2の物体側からの光線が、投影光学系を射出する際に、該光線の第1の物体側の延長線が光軸と交差する点と第1の物体面との間の距離をe、投影光学系を通って来る光線が、第1の物体に到達する際の、投影光学系の光軸からの第1の物体上の光線の高さをhとすると、1.8≦|F/(B・L)|、及び、|h/e|≦3/1000の条件を満足する。本投影光学系を備える投影露光装置も提供される。

請求項（抜粋）：

第1の物体上の像を、一定の縮小率で、第2の物体上に投影する投影光学系であって、前記第1の物体の側から見て順に、正の屈折力を有する第1のレンズ群と、実質的にアフォーカル系から成る第2のレンズ群と、正の屈折力を有する第3のレンズ群とを備え、全系の焦点距離をFで表し、前記投影光学系の投影倍率をBで表し、前記第1の物体と前記第2の物体との間の距離をLで表し、前記投影光学系の光軸に対して平行な、前記投影光学系の第2の物体側からの光線が、前記投影光学系に射出する際に、該射出光線の第1の物体側での延長線が光軸と交差する点と前記第1の物体面との間の距離をeで表し、前記投影光学系を介した前記射出光線が、前記第1の物体に到達する際の、前記投影光学系の光軸からの前記第1の物体上の前記光線の高さをhで表した場合に、1.8≦|F/(B・L)|、及び、|h/e|≦3/1000の条件を満足することを特徴とする投影光学系。