特許

J-GLOBAL ID：200903054825539148

検出装置および放射線撮像システム

発明者： 小池 稔子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-140587
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334984
出願日： 2001年05月10日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】 配線リーク防止ための絶縁層がはがれやすくならないような、光検出装置、放射線検出装置および放射線撮像システムを提供することを目的とする。【解決手段】 絶縁基板に、入射光を電気信号に変換する光電変換素子と、光電変換素子で変換された電気信号を読み出すためのTFTとを有する光検出装置において、配線間リークを防止するための絶縁層が、絶縁基板上に形成されたTFTを駆動するための下配線上に全面に渡って形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光又は放射線の少なくともいずれか一方を検出する検出装置において、絶縁基板に、光又は放射線の少なくともいずれか一方を電気信号に変換する変換素子で変換された電気信号を読み出すためのTFTを有し、配線間リークを防止するための絶縁層が、前記絶縁基板上に形成された前記TFTを駆動するための下配線上に全面に渡って形成されていることを特徴とする検出装置。

IPC (9件)：

H01L 27/146 ,  G01T 1/00 ,  G01T 1/20 ,  G01T 1/24 ,  H01L 21/336 ,  H01L 27/14 ,  H01L 29/786 ,  H01L 31/0248 ,  H01L 31/09

FI (8件)：

G01T 1/00 B ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14 C ,  H01L 29/78 612 Z ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/08 H ,  H01L 27/14 K

Fターム (64件)：

2G088EE01 ,  2G088EE29 ,  2G088EE30 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA05 ,  4M118CA07 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FB09 ,  4M118FB22 ,  4M118FB26 ,  4M118GA10 ,  4M118HA23 ,  4M118HA25 ,  5F088AA11 ,  5F088AB05 ,  5F088BA10 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088CB05 ,  5F088CB14 ,  5F088DA05 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088EA20 ,  5F088GA02 ,  5F088HA15 ,  5F088HA20 ,  5F088LA08 ,  5F110AA26 ,  5F110BB10 ,  5F110CC07 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG35 ,  5F110GG44 ,  5F110HK08 ,  5F110HK34 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110NN03 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72