特許
J-GLOBAL ID：200903054837461462
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010734
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224403
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 感度特性の低下を招くことなくスミア特性を向上させることができ、埋め込みフォトダイオードp+ 層の電位を安定化することができる固体撮像装置を提供する。【構成】 フォトダイオードの読み出しポリシリコン電極9の側方にセルフアラインで狭い隙間を形成し、しかも隙間は埋め込みフォトダイオード部p+ 層10の表面までエッチングしてあり、その後アルミ遮光膜14を隙間に埋め込んで形成することにより、アルミ遮光膜14と埋め込みフォトダイオードp+ 層10とをセルフアラインでコンタクト形成することができる。
請求項（抜粋）：
フォトダイオードとCCDをアレイ状に配列した固体撮像装置であって、前記CCDの遮光膜を前記CCDの読み出しポリシリコン電極の側面に沿って縦方向に延長したことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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