液晶表示パネル用基板からのスペーサー除去方法とその装置、および液晶表示パネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192925
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021899
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】液晶表示パネル用基板上のスペーサーを簡便・高精度に洗浄除去し、新品基板と同等に清浄な基板とする。【解決手段】周辺の空気をイオン化させて基板201の表面に供給するイオナイザー10と、非接触式洗浄機を改造した改造機20とでスペーサー除去装置を構成する。改造機20は、基板表面に吹きつけた空気に超音波振動を付与する機能、基板表面近傍の空気を吸引除去する機能および、吸引空気中の塵埃を除去するフィルター機能を有する。基板上のスペーサーSの除去に際しては、吸着テーブル202上に基板を保持して、クリーナーヘッド102と基板表面の間に適正なギャップGを設定する。ついで、イオナイザーおよび改造機20を同時に作動させ、ギャップGを維持したまま吸着テーブル202を移動させ、空気吐出口102bから除塵空気を供給してスペーサを剥離するとともに、剥離スペーサーを含む周辺空気を空気吸引口102cにより吸引除去する。

請求項（抜粋）：

液晶表示パネルを構成するための基板上に乾式散布方式で散布されたスペーサーを除去するに際し、空気をイオン化させる機能を有するイオナイザーにより基板表面の帯電電圧を低下させる操作と、非接触方式の洗浄機によるスペーサー除去操作とを同時に行うことにより基板表面からスペーサーを除去する方法であって、前記洗浄機は、基板表面に吹きつけた空気に超音波振動を付与しながら基板表面近傍の空気を吸引除去するものであることを特徴とする、液晶表示パネル用基板からのスペーサー除去方法。

Fターム (5件)：

2H089LA07 , 2H089NA10 , 2H089NA56 , 2H089NA60 , 2H089QA12

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