感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-272159
公開番号（公開出願番号）：特開2003-076015
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、感度、解像力、細線密着性、レジスト可撓性、耐現像液性、めっき特性、レジスト剥離性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルムを提供する。【解決手段】 (a)不飽和基を含有しないカルボキシル基含有ポリマー、(b)特定化合物をカルボキシル含有ポリマーに反応させた不飽和基数0.3〜3.5mmol/gの官能性ポリマー、(c)エチレン性不飽和化合物、(d)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルム。

請求項（抜粋）：

(a)不飽和基を含有しないカルボキシル基含有ポリマー、(b)下記一般式(1)で示される化合物をカルボキシル含有ポリマーに反応させた不飽和基数0.3〜3.5mmol/gの官能性ポリマー、(c)エチレン性不飽和化合物、(d)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。【化1】〔ここでR1は水素又はメチル基、R2は-〔(CO)xCHX1(CHX2)yO〕z-(但し、xは0又は1、yは0〜9の整数、zは0〜10の整数、X1、X2は水素又はメチル基)、R3はジイソシアネートから2個のイソシアネート基を除いた有機残基を示す。〕

IPC (10件)：

G03F 7/038 501 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F290/12 , C08L 33/04 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , G03F 7/11 501

FI (10件)：

G03F 7/038 501 , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F290/12 , C08L 33/04 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , G03F 7/11 501

Fターム (64件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA14 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025BC81 , 2H025BC85 , 2H025BC92 , 2H025CA01 , 2H025CA28 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025DA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J002BG02X , 4J002BG07W , 4J002EH076 , 4J002GP03 , 4J011PA69 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA13 , 4J011QA34 , 4J011QA46 , 4J011QB03 , 4J011QB16 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA41 , 4J011SA61 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA84 , 4J027AA02 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027BA07 , 4J027BA08 , 4J027BA13 , 4J027BA14 , 4J027BA16 , 4J027BA19 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA03 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD10

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