特許
J-GLOBAL ID：200903054847660803
レンズ形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035491
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252372
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 例えばCCD固体撮像素子において、レンズ間隔が零となるオンチップマイクロレンズを安定して形成できるようにする。【構成】 平坦化膜であるレンズ材料層上において膨張する物質(ゼラチン又はカゼイン)をレンズ形状に加工する工程と、膨張する物質をレンズ形状を保持したまま膨張させる工程と、膨張した物質をエッチバックしてレンズ材料層に膨張したレンズ形状を転写する工程とを有する。
請求項（抜粋）：
平坦化膜上において膨張する物質を隣り合う間隔をあけた状態でレンズ形状に加工する工程と、前記レンズ形状の膨張する物質を前記隣り合う間隔が小又は零となるように膨張させる工程を有することを特徴とするレンズ形成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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