特許

J-GLOBAL ID：200903054849946313

付着物の除去方法及びその装置

発明者： 篠塚 脩平 ,  松村 正夫 ,  小野 耕司 ,  森 敏
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361672
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204196
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 ウエハやガラス基板などの搬送物に付着した有機物膜やレジスト等の付着物を、時間の無駄なく除去することができる付着物の除去方法及びその装置を提供する。【構成】 ウエハ等の搬送物2を搬送するための搬送路21を有する磁気浮上搬送装置22と、上記搬送路21の内部20に設けられ、この搬送路内部20を移動中の搬送物2に紫外線を照射して、この搬送物2に付着した付着物を取り除く紫外線ランプ23とを備えている。

請求項（抜粋）：

搬送物を搬送する磁気浮上搬送装置の搬送路の内部に紫外線ランプを配設し、この紫外線ランプから発せられる紫外線を、上記搬送路の内部を移動中の上記搬送物に照射することにより、この搬送物に付着した付着物を取り除くことを特徴とする付着物の除去方法。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/68