特許

J-GLOBAL ID：200903054857273395

半導体検査装置

発明者： 古賀 一矢
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127030
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321320
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 半導体光電変換素子の電気特性検査において、高精度の光源装置をもつ半導体検査装置を得るようにしたこと.【解決手段】 光源装置として例えば液晶パネル装置を用い、半導体検査装置に接続した.

請求項（抜粋）：

半導体光電変換素子の電気特性検査における光源装置として液晶パネル装置を用いたことを特徴とする半導体検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14

FI (3件)：

G01R 31/26 E ,  H01L 21/66 X ,  H01L 27/14 Z

Fターム (15件)：

2G003AA06 ,  2G003AB01 ,  2G003AC00 ,  2G003AD00 ,  2G003AH05 ,  4M106AA04 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DH01 ,  4M106DH19 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M118AA09 ,  4M118AA10 ,  4M118BA10