質量流量制御器の制御弁

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-204937
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042663
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、常時閉型であるにも拘わらず構造が簡素であってコストも安く、流体流路内にパーティクルやデッドボリュウムの発生要因となるものも存在しない画期的な常時閉型質量流量制御器を提供するにある。【構成】本体ボディ(17)に流体流路(18)が形成されており、この流体流路(18)の開口部(18a)をプラグ(15)にて開閉し、ばね(11)にて前記プラグ(15)を前記開口部(18a)から離間する方向に付勢し、電圧が印加しない時には前記ばね(11)に抗して伸張し、プラグ(15)を開口部(18a)に押圧して閉塞し、電圧の印加時には収縮して前記ばね(11)の弾発力によってプラグ(15)が開口部(18a)から離間する縮小型積層圧電素子(1)を前記プラグ(15)に当接した事を特徴とする。

請求項（抜粋）：

本体ボディに形成された流体流路と、流体流路の開口部を開閉するプラグと、プラグを開口部から離間する方向に付勢するばねと、電圧が印加しない時には前記ばねに抗して伸張し、プラグを開口部に押圧して閉塞し、電圧の印加時には収縮して前記ばねの弾発力によってプラグが開口部から離間する縮小型積層圧電素子とで構成された事を特徴とした質量流量制御器の制御弁。

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