特許

J-GLOBAL ID：200903054864726826

レーザ光発生装置

発明者： 金田 有史
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287661
公開番号（公開出願番号）：特開2002-099011
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 高出力、高繰り返しで干渉性の良い短波長レーザ光を発生させる。【解決手段】 第1のレーザ光源2から出射された第1のレーザ光L1と、第2のレーザ光源3から出射されたパルス波の第2のレーザ光L2とを波長選択性ミラー4によって同軸に合波した上で、それぞれシード光及びポンプ光として光パラメトリック増幅器5に入射させる。そして、光パラメトリック増幅器5により増幅されパルス波として出射された第1のレーザ光L1に対して、非線形波長変換光学系6により波長変換を行って、例えば波長が約193nmの第4のレーザ光L4を得るようにする。

請求項（抜粋）：

シード光となる第1のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、ポンプ光となるパルス波の第2のレーザ光を出射する第2のレーザ光源と、上記第1のレーザ光源から出射された第1のレーザ光と上記第2のレーザ光源から出射された第2のレーザ光とを同軸に合波する光学系と、上記光学系により同軸に合波された第1のレーザ光及び第2のレーザ光が入射され、上記第1のレーザ光の波長をλ1、上記第2のレーザ光の波長をλ2としたときに、λ2とλ1の差周波混合過程によりλ3=1/{(1/λ2)-(1/λ1)}を満たす波長λ3を有する第3のレーザ光を出射すると共に、上記第1のレーザ光を増幅しパルス波として出射する光パラメトリック増幅器と、上記光パラメトリック増幅器により増幅されパルス波として出射された第1のレーザ光の波長変換を行って所定の波長の第4のレーザ光を発生させる非線形波長変換手段とを備えることを特徴とするレーザ光発生装置。

IPC (8件)：

G02F 1/39 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/094 ,  H01S 3/11 ,  H01S 5/12

FI (8件)：

G02F 1/39 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/11 ,  H01S 5/12 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/094 S

Fターム (28件)：

2H097AA13 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097CA17 ,  2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002AB30 ,  2K002BA02 ,  2K002CA03 ,  2K002DA01 ,  2K002EA30 ,  2K002HA20 ,  2K002HA21 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F046CB27 ,  5F072AB02 ,  5F072GG05 ,  5F072HH07 ,  5F072MM03 ,  5F072PP07 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09 ,  5F073AA64 ,  5F073BA09 ,  5F073EA29