特許
J-GLOBAL ID：200903054875962246
ウエハ・プロキシミティ・センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139206
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120327
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハの適切な位置を感知するウエハ・プロキシミティ・センサを提供する。【構成】 半導体ウエハ(11)と加熱/冷却プレート(12)との間の距離はフロー・メータ(27)を用いたフィードバック装置によって決定され、ウエハはウエハと加熱/冷却プレートとの間の空気あるいはガスの流れを制限することによりフィードバックシステムの一部を形成し、ウエハと加熱/冷却プレートとの間の距離はフロー・メータを通る空気あるいはガスの流れの量を決定する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハと加熱/冷却プレートとの間に、前もって定められた距離を保持する装置であり、開口部を持つ加熱/冷却プレートと、プレートに対応して半導体を移動されるステッピング装置と、プレートの開口部に接続されるバキューム・ソースと、プレートの開口部に接続されるフロー・メータとを含み、プレートの開口部にバキュームが適用され、半導体とプレートとの間並びにフロー・メータを介して空気が流れ、フロー・メータを介した空気と半導体ウエハとのプレートとの間に流れた空気との割合が半導体ウエハとプレート表面との間の距離を示す装置。
IPC (2件)：
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