特許
J-GLOBAL ID：200903054877117748
エレクトレット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092817
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283374
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】寸法が小さくても、期待寿命を増大させることが可能なエレクトレットを提供するにある。【解決手段】シリコン単結晶ウェハからなる固定基体100上にSiO2 膜101をプラズマによる気相により付着形成し、このSiO2 膜101の中央部を帯電させてエレクトレット18を構成する。帯電されていないSiO2 膜101の周辺部分は絶縁膜16となり、固定基体100を保護するとともに、固定接点19や接合用金属薄膜層26と固定基体100とを絶縁する。
請求項（抜粋）：
固体基板上にSiO2 膜を形成し、このSiO2 膜の少なくとも周辺部を除いた一部を帯電させて構成したことを特徴とするエレクトレット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01G 7/02 A
, C01B 33/12 Z
