特許
J-GLOBAL ID：200903054888779203
超純水製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑中 芳実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-216749
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 半導体産業におけるシリコンウエハの洗浄等に用いられる超純水の製造装置において、被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機物酸化装置を用いて有機物を含む被処理水中の有機物除去を行う場合に、有機物酸化装置の被処理水へのアルカリ剤の添加量を低減するとともに、後段のイオン交換装置の負荷が増大することを防止する。【解決手段】 超純水製造装置の有機物除去を行う経路に、被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加する有機物酸化装置38と、OH形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置42と、脱塩室に陽イオン交換樹脂が充填された電気透析装置44とを、被処理水をこの順序に通水するように設置するとともに、電気透析装置44のアルカリ性濃縮水を有機物酸化装置38の被処理水に添加してこの被処理水のpH調整に使用する。
請求項（抜粋）：
超純水製造装置の有機物除去を行う経路に、被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより該被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機物酸化装置と、OH形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置と、脱塩室に陽イオン交換樹脂が充填された電気透析装置とを、被処理水をこの順序に通水するように設置するとともに、電気透析装置の濃縮室から得られるアルカリ性濃縮水を有機物酸化装置の被処理水に添加して該被処理水のpH調整に使用することを特徴とする超純水製造装置。
IPC (5件)：
C02F 1/78
, B01D 61/48
, B01J 41/04
, C02F 1/42
, C02F 1/469
C02F 1/78
, B01D 61/48
, B01J 41/04 H
, C02F 1/42 A
, C02F 1/46 103
