特許

J-GLOBAL ID：200903054890298093

CMP装置のスラリリサイクルシステム及びその方法

発明者： 飯田 進也 ,  吉田 明利
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-102046
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277434
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】 砥粒の凝集状態を初期の状態に戻して、スラリの再使用を可能にすることにより、研磨作業コストの低減化を図ると共に、CMP装置の稼働率の向上を図ったCMP装置のスラリリサイクルシステム及びその方法を提供する。【解決手段】 CMP装置1で使用されたスラリSを分散室31に送る。そして、分散室31に取り付けられた超音波分散装置4の振動子40を発振器41で振動させ、超音波振動エネルギーを発生させることで、スラリS中の凝集粒子を分散させる。しかる後、このスラリSをスラリ供給装置300に戻すことで、スラリSを再利用することができる。

請求項（抜粋）：

初期状態で1次粒径が0.002μm〜10μmの砥粒である金属酸化物,金属窒化物,金属炭化物,又は金属炭酸塩を水又は有機溶媒に分散してなるスラリであって、CMP装置にて使用されたスラリを流通させる流路部と、上記流路部中に配された振動子及びこの振動子を振動させて流路部中に超音波振動エネルギーを発生させる発振器を有した超音波分散部とを具備することを特徴とするCMP装置のスラリリサイクルシステム。