特許
J-GLOBAL ID：200903054898654522
定量ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287060
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117377
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 吐出量を正確に制御できる定量ポンプを提供する。【構成】 圧電素子を利用して流体を送る構成の定量ポンプにおいて、圧電素子22の所定位置に変位検出用の電極23を設け、圧電素子22の変形によって生じる電圧信号を変位検出用の電極23から取り出し、この電圧信号を利用して圧電素子の駆動電圧をフィードバック制御することを特徴とする定量ポンプ。
請求項（抜粋）：
圧電素子を利用して流体を送る構成の定量ポンプにおいて、圧電素子(22)の所定位置に変位検出用の電極(23)を設け、圧電素子(22)の変形によって生じる電圧信号を変位検出用の電極(23)から取り出し、この電圧信号を利用して圧電素子の駆動電圧をフィードバック制御することを特徴とする定量ポンプ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
