特許

J-GLOBAL ID：200903054899834001

高さ測定装置

発明者： 青木 雅弘
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265331
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091211
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】表面を有する被検体に対しても、その面頂に最も近い部分からの高さデータを選択でき、精度の高い高さ測定を実現できる高さ測定装置を提供する。【解決手段】被検体101の表面に投光絞り112を通して光ビームを投光し、被検体101で反射された全光束の光軸から所定の量だけずれた測定用光軸上の光束の一部を測定光として取り出し、受光絞り114を通し対物レンズ102の瞳位置に配置されたセパレータレンズ115を介して測定光のスポット位置を検出する第1のPSD116に収束させ、また、ハーフミラー113で分割された他方の測定光路の配置され第2のPSD117により被検体101面の傾きを検出し、この第2のPSD117の検出結果に基づいて第1のPSD116により検出されるスポット位置信号より被検体101表面の高さを求める。

請求項（抜粋）：

被検体の表面に照明光を収束させる光源および対物レンズを有する照明光学系と、この照明光学系の光源の前方に配置され、光源からの光をビームにして被検体に投光させる投光絞りと、被検体で反射された全光束の光軸から所定の量だけずれた測定用光軸を有し、前記光束の一部を測定光として取り出し、前記測定用光軸に沿って収束させる前記対物レンズの瞳位置に配置されたセパレータレンズを有する結像光学系と、この結像光学系のセパレータレンズの前方に配置される受光絞りと、前記結像光学系の測定光を2光路に分割する光路分割手段と、この光路分割手段により分割された一方の測定光の収束面に配置され、前記受光絞りを通り前記セパレータレンズにより収束される測定光のスポット位置を検出する第1の位置検出素子と、前記光路分割手段により分割された他方の測定光路上に配置され前記被検体面の傾きを検出する第2の位置検出素子とを具備し、前記第2の位置検出素子の検出結果に基づいて第1の位置検出素子により検出されるスポット位置信号より前記被検体表面の高さを求めることを特徴とする高さ測定装置。

Fターム (33件)：

2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065CC27 ,  2F065DD06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF49 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065LL62 ,  2F065MM26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU07