特許
J-GLOBAL ID：200903054903328132
合金ターゲット,磁性薄膜,磁気記録装置およびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027707
公開番号（公開出願番号）：特開平7-238369
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】Feを主体とし、高飽和磁束密度を維持しつつ耐食性を向上させた、軟磁気特性を有する磁性膜およびそれを用いた磁気記録装置を提供する。【構成】微結晶析出型の軟磁性薄膜1の製造において、磁性膜を構成する元素を微粉末化して、元素がそれぞれ単体で存在する状態で熱間静圧プレス法(HIP法)により成型したものを成膜用スパッタターゲットに用い、さらに熱処理条件等により、形成される薄膜の粒子サイズを制御する。
請求項（抜粋）：
Fe,Ta,Cの各々を粉体化した後に、熱間静圧プレス法により成型固形化し、さらに優位には各々の元素が互いに化合することなく単体で存在する混合物であることを特徴とするスパッタリング用合金ターゲット。
IPC (6件)：
C23C 14/34
, C23C 14/58
, G11B 5/127
, G11B 5/23
, H01F 10/14
, H01F 41/18
