感光性樹脂およびその組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335097
公開番号（公開出願番号）：特開2002-012665
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像が可能で、現像マージンが広く、解像度、アスペクト比などの露光、解像特性に優れ、かつ、優れた組成物保存安定性を示す感光性樹脂前駆体およびその用途を提供する。【解決手段】下記一般式(1)のヒドロキシポリアミドの水酸基の一部に、一般式(2)のイソシアナート化合物を反応させて感光性ポリベンズオキサゾール前駆体樹脂を製造する。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミドの水酸基の一部に、下記一般式(2)で表される不飽和ニ重結合を含むイソシアナート化合物を反応させることにより得られる感光性ポリベンズオキサゾール前駆体樹脂。【化1】[式中R1は2価の芳香族基、R2は4価の芳香族基である。nは2〜150の整数である]【化2】[式中、R3は水素原子および/または炭素数1〜3の脂肪族基であり、R4,R5はそれぞれ独立に水素原子および/または炭素数1〜3の脂肪族基である。mは2〜10の整数である]

IPC (6件)：

C08G 73/22 , C08K 5/00 , C08L 79/06 , G03F 7/038 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (6件)：

C08G 73/22 , C08K 5/00 , C08L 79/06 , G03F 7/038 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (84件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC42 , 2H025BC70 , 2H025CA01 , 2H025CC03 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J002CH052 , 4J002CM031 , 4J002EE036 , 4J002EE046 , 4J002EH036 , 4J002EH047 , 4J002EH057 , 4J002ES016 , 4J002ET017 , 4J002EV316 , 4J002FD142 , 4J002FD146 , 4J002FD147 , 4J002FD208 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PC085 , 4J043PC086 , 4J043QB58 , 4J043RA52 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA11 , 4J043TA31 , 4J043TA35 , 4J043TA55 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA261 , 4J043UB021 , 4J043UB121 , 4J043UB162 , 4J043UB221 , 4J043UB301 , 4J043VA011 , 4J043VA021 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043WA06 , 4J043XA06 , 4J043XB11 , 4J043XB17 , 4J043XB19 , 4J043YA06 , 4J043YA07 , 4J043ZA12 , 4J043ZA46 , 4J043ZB03 , 4J043ZB11 , 4J043ZB22 , 4J043ZB47

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