特許
J-GLOBAL ID：200903054918482570
ニオイ・センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010905
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】種々のニオイを検出もしくは区別することができる構造のセンサを作成することを目的としており、また、このようなセンサを小型かつ容易に製造可能にすることを目的としている。【構成】同一の基板上へ膜厚の異なる例えば酸化第二錫SnO2等の同一の材質のセルを複数個作成し、これらセルの出力を取り出して、膜厚によるガスの感度の違いを積極的に利用してニオイの区別の可能なセンサを得る。このように同一基板上に複数のセルを同一の膜材質で作成しているため、製造が容易となり、なおかつ異なった特性を持つニオイ・センサ部を同一基板上に小型に作成することが可能である。
請求項（抜粋）：
同一の基板上で、膜厚の異なる同一材質のセルを複数個形成し、これらセルを個別のニオイ・センサ部として用いることを特徴とするニオイ・センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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