特許

J-GLOBAL ID：200903054922763028

校正試料及び校正試料を用いた探針位置補正装置及び 微細配線検査装置及び探針位置補正方法

発明者： 関口 英紀 ,  藤井 彰
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006940
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206500
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 本発明は微細配線に接触させる探針を交換した際の位置ずれを短時間で測定することを課題とする。【解決手段】 校正試料100は、X方向位置検出用の位置検出ブロックP0〜P7と、Y方向位置検出用の位置検出ブロックQ0〜Q7とからなる。各X方向位置検出ブロックP0〜P7は、表面に夫々異なる凹凸形状の位置識別パターンが形成されている。また、各Y方向位置検出ブロックQ0〜Q7も同様に異なる凹凸形状の位置識別パターンが形成されている。そのため、探針50をX方向位置検出ブロックP0〜P7の何れかに接触させてX方向の位置を検出した後、探針50をY方向位置検出ブロックQ0〜Q7の何れかに接触させてY方向の位置を検出することができる。そして、校正試料100を使用して光学顕微鏡40の視野中心のずれと、探針50のずれの両方を補正することができる。

請求項（抜粋）：

探針が接触する表面に一方向に延在する凹凸による異なる位置識別パターンが個別に形成された複数の位置検出ブロックを有し、該位置識別パターンの組み合わせから前記探針の走査位置を検出させることを特徴とする校正試料。

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01B 21/30 ,  G01R 31/26 ,  G01R 35/00 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01R 31/28 K ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 31/26 J ,  G01R 35/00 L ,  H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 S