特許

J-GLOBAL ID：200903054923964663

露光ヘッドおよび露光装置

発明者： 鶴間 功 ,  木村 宏一
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-218484
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033973
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 露光ヘッドおよび露光装置において、高い解像度を維持しつつ、複雑な構成を用いることなく、実質的に深い焦点深度を有する。 【解決手段】 照射された光を各々制御信号に応じて変調する画素部が多数並設されてなるDMD50等の空間光変調素子を備え、感光材料150に対して相対移動して感光材料150の同一位置を複数の画素部からの光により多重露光する露光ヘッドにおいて、空間光変調素子と感光材料150との間の光路に、空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズ56がアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイ55が配置される。同一位置の多重露光に用いられるマイクロレンズ56A〜56Dはそれぞれ焦点距離が異なる。露光装置は、露光ヘッドと、この露光ヘッドを感光材料150に対して相対移動させるステージ152を備える。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

照射された光を各々制御信号に応じて変調する画素部が多数並設されてなる空間光変調素子を備え、感光材料に対して相対移動して前記感光材料の同一位置を複数の前記画素部からの光により多重露光する露光ヘッドにおいて、 前記空間光変調素子と前記感光材料との間の光路に、前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイが配置され、 前記同一位置の多重露光に用いられる前記マイクロレンズのうち少なくとも2つのマイクロレンズの焦点距離が異なることを特徴とする露光ヘッド。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  B41J 2/445 ,  H04N 1/036

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  B41J3/21 V ,  H04N1/036 A

Fターム (25件)：

2C162AE23 ,  2C162AE48 ,  2C162AF50 ,  2C162AF82 ,  2C162FA05 ,  2C162FA18 ,  2C162FA44 ,  2C162FA49 ,  2C162FA50 ,  2H097AA03 ,  2H097AA11 ,  2H097AB05 ,  2H097BA01 ,  2H097CA06 ,  2H097LA12 ,  5C051AA02 ,  5C051CA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB22 ,  5C051DB24 ,  5C051DB25 ,  5C051DB28 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-145076   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 露光ヘッド及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-167410   出願人：富士写真フイルム株式会社