特許

J-GLOBAL ID：200903054931254497

冷却機構を備えた粉末コーティング装置

発明者： 竹島 鋭機 ,  五ノ井 薫 ,  城倉 貴史
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100624
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306600
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 スパッタコーティングされた粉末を取り出す際に、短時間で冷却及び徐酸化することが可能な粉末コーティング装置を得る。【構成】 スパッタリングされる原料粉末は、真空チャンバー10内の回転ドラム60に装入され、スパッタリング源50からのスパッタ粒子によってコーティングされる。回転ドラム60はドラム駆動ユニット30で回転され、スパッタリング源50はターゲット駆動ユニット20で駆動される。真空チャンバー10の内部は、吸引管92a及び吐出管92bで冷却機構90の熱交換器91に接続されている。コーティングされた粉末の取出しに先立って、真空チャンバー10内の不活性ガスは、熱交換器91を減るガス循環経路に沿って循環し、高温状態の粉末を冷却する。

請求項（抜粋）：

内部にスパッタリングされる原料粉末が装入される回転ドラムと、該回転ドラムの回転軸を水平に維持して前記回転ドラムを収容する真空チャンバーと、該真空チャンバーの両側にそれぞれ気密接続可能に配置したターゲット駆動ユニット及びドラム駆動ユニットと、前記ターゲット駆動ユニットで片持ち支持されたスパッタリング源と、前記真空チャンバーに気密接続された冷却機構と、前記真空チャンバーから前記冷却機構を経て前記真空チャンバーに戻るガス循環経路とを備え、コーティングされた粉末の取出しに先立って、前記ガス循環経路を通過するとき前記冷却機構によって冷却された不活性ガスが前記回転ドラムの内部に送り込まれることを特徴とする粉末コーティング装置。