特許
J-GLOBAL ID：200903054945398440
半導体ウェハ収納ケースおよびその搬送装置,投入・払出し装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303084
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161805
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウェハの挿入および取り出しを安全かつ容易に行えるとともに、内部に収容した半導体ウェハが運搬時などにガタついて損傷するのを未然に防止可能にする。【構成】 半導体ウェハ4の周縁を挟持および挟持解除可能に伸縮する蛇腹部8を設け、この蛇腹部8の内外に上記半導体ウェハ4を出入可能にする開口部Tを設ける。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハの周縁の一部を少なくとも対向する2箇所で挟持および挟持解除可能に伸縮する蛇腹部と、該蛇腹部の内外に上記半導体ウェハを出入可能にする開口部とを備えた半導体ウェハ収納ケース。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/86
