表面形状測定方法及び表面形状測定器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082382
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278114
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】表面形状を非接触で高精度に計測する。【構成】音響光学素子8は入射された2周波光を周波数シフトさせる。縮小光学系18はもう一方の2周波光のビーム形状を絞ってウエハ20に入射させる。ビームスプリッター11は、周波数シフトされた光とウエハ20からの反射光とを光ヘテロダイン干渉させ、偏光ビームスプリッター12が偏光面の異なる2つの干渉光に分離する。光電検出器15で周波数f1の光に基づく第1、第2のビート信号が得られ、光電検出器16で周波数f2の光に基づく第3、第4のビート信号が得られる。制御部17は、第1、第3のビート信号の位相差及び第2、第4のビート信号の位相差に基づいてウエハ20の段差を算出する。

請求項（抜粋）：

偏光面が互いに直交し周波数が異なる2周波光を発生して、この2周波光を第1、第2の2周波光の2つに分割し、第1の2周波光の周波数をシフトさせ、第2の2周波光のビーム形状を縮小して被測定物体上に入射させ、前記周波数シフトされた第1の2周波光と前記被測定物体によって反射された第2の2周波光を合成し、この合成によって得られた光ヘテロダイン干渉光を偏光面の異なる第1、第2の光ヘテロダイン干渉光に分離し、第1の光ヘテロダイン干渉光を2つに分割して独立に検出し、第1、第2のビート信号を求めると共に、第2の光ヘテロダイン干渉光を2つに分割して独立に検出し、第3、第4のビート信号を求め、第1のビート信号と第3のビート信号の位相差及び第2のビート信号と第4のビート信号の位相差に基づいて、前記被測定物体の表面形状を算出することを特徴とする表面形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 11/02 , G01B 11/14

FI (4件)：

G01B 11/24 D , G01B 11/24 F , G01B 11/02 G , G01B 11/14 G

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