特許
J-GLOBAL ID：200903054947763359
集積型SPMセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-346912
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166608
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 液中観察におけるacモード測定において、分解能を向上させた集積型SPMセンサを提供する。【解決手段】 レバー支持部1と、自由端に探針部3を備え、基端を前記レバー支持部1上に酸化シリコン層2を介して支持させた窒化シリコンからなる第1のカンチレバー部4と、該第1のカンチレバー部4の両側に配置され先端部にPNフォトダイオード部を備え、基端を酸化シリコン層2を介して前記レバー支持部1に支持させたN型シリコン層5からなる第2のカンチレバー部6とを備え、該第2のカンチレバー部6に折曲部14を形成して、前記第2のカンチレバー部6のPNフォトダイオード部を、前記第1のカンチレバー部4の探針部3の形成面より該探針部3の突出方向に突出させて、集積型SPMセンサを構成する。
請求項（抜粋）：
自由端に突出形成した探針部を有する第1のカンチレバー部と、集積化された光検出機構の配置部分を前記第1のカンチレバーの探針部の突出形成面より、該探針部の突出方向に突出するように配設した第2のカンチレバー部と、前記第1及び第2のカンチレバー部の基端を支持する支持部と、前記光検出機構からの信号より測定試料表面情報を出力する回路とを備えていることを特徴とする集積型SPMセンサ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
