静電チャック除電方法及び半導体製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086522
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284583
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハを確実に離脱させることのできる静電チャック除電方法及び半導体製造装置を得る。【解決手段】静電チャック電源12は、正又は負のいずれかであり、振幅が時間とともに減衰するパルスである単極の減衰矩形波を印加電圧として静電チャック4へ出力する。半導体ウェハ3内には、印加電圧が微分された電流が流れる。微分された電流は正及び負が交代する交番電流であり、また、この交番電流の振幅は時間とともに小さくなるため、徐々に電荷が放出される。したがって、半導体ウェハ3は確実に静電チャック4から離脱する。

請求項（抜粋）：

チャンバ内に対向配置された1対の電極の一方の印加電圧に応じて半導体ウェハを充放電することにより当該半導体ウェハを吸着及び離脱することの可能な誘電体からなる静電チャックを備えたものにおいて、前記半導体ウェハを前記静電チャックにより離脱させる場合に、前記印加電圧を正あるいは負電圧から形成される単極の減衰矩形波とすることを特徴とする静電チャック除電方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

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