特許
J-GLOBAL ID：200903054955036989
固体電解質燃料電池用薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔦田 璋子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-099721
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299104
出願日： 1992年04月20日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【構成】 CVD法またはEVD法を用いて、インターコネクター薄膜12や電解質薄膜14などの固体電解質燃料電池用薄膜を製造するに際し、予め、基板(例えば、基体管10やインターコネクター薄膜12)上にランタンマンガネート粉末スラリーを塗布し、これを900〜1,050°Cで焼結させてマスキング膜16を形成した後に、EVD法などにより薄膜を成膜する。【効果】 本発明の製造方法によれば、基板に密着したマスキングが可能なだけでなく、容易にマスキングやデマスキングができるため、CVD法またはEVD法を用いて固体電解質燃料電池用薄膜を製造するのが容易になる。また、成膜条件において、本発明で用いるマスキング材そのものが化学的に安定であるため、マスキング材が基板と反応せず、基板に悪影響を与えない。
請求項（抜粋）：
CVD法またはEVD法を用いて固体電解質燃料電池用薄膜を製造する方法であって、ランタンマンガネート粉末スラリーをマスキング材として用いることを特徴とする方法。
IPC (4件)：
H01M 8/02
, C23C 16/04
, C23C 16/40
, H01M 8/12
