特許

J-GLOBAL ID：200903054957512761

蒸着ボート

発明者： 稲葉 律夫 ,  杉浦 久則
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-270687
公開番号（公開出願番号）：特開平7-126838
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 昇華性の材料の蒸着膜において、膜の均一性を増大させる。【構成】 蒸着ボートの構造を熱的に均一にし、かつ材料粒子の大きさをフィルターの導入によって一定にする。

請求項（抜粋）：

薄膜を作製する際、特に昇華する材料を蒸着する際の蒸着ボートにおいて、ボートを構成して容器となる金属板と、金属金網とを備えたことを特徴とする蒸着ボート。