特許

J-GLOBAL ID：200903054961884029

陰極体の製造方法

発明者： 中嶋 誠二 ,  青倉 勇 ,  塚田 敏行 ,  相賀 正幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281407
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092057
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 先端(外周縁)を尖らせた、一つ以上のドーナツ状突起を、金属製円筒の外周に、円筒の中心軸と同軸に、一体形成してなる、陰極体を製造する際において、ドーナツ状突起の先端を効率よく加工することができる、マグネトロン装置の製造方法を提供する。【解決手段】 少なくとも1つのドーナツ状突起22を、中空円筒21の外周に、中空円筒21と同軸に一体形成してなる被研磨体20を用いて陰極体を製造するに際し、ドーナツ状突起22の先端の加工に電解研磨法を用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのドーナツ状突起を、中空円筒の外周で、前記中空円筒と同軸一体となるように形成する陰極体の製造方法であって、前記ドーナツ状突起の先端加工に電解研磨法を用いる、ことを特徴とする陰極体の製造方法。