特許
J-GLOBAL ID：200903054967390559
画像データ比較装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049264
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260699
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】本発明は比較用画像データの画素寸法を被検査用画像データの画素寸法とを容易に一致させて、検査工程に要する時間を短縮し得る画像データ検査装置を提供することを目的とする。【構成】画像メモリ7に格納された被検査用画像データD1と、設計データD2に基づいてデータ処理装置15により生成された比較用画像データD3とが比較回路13で比較されて、被検査用画像データD1に含まれる欠陥データが検出される。データ処理装置15には、設計データD2に基づいて被検査用画像データD1より細かい画素寸法で生成した基本画像データをあらかじめ生成し、基本画像データに基づいて被検査用画像データD1と画素寸法が等しい比較用画像データD3を生成する画素寸法調整回路11が備えられる。
請求項（抜粋）：
画像メモリ(7)に格納された被検査用画像データ(D1)と、設計データ(D2)に基づいてデータ処理装置(15)により生成された比較用画像データ(D3)とを比較回路(13)で比較して、被検査用画像データ(D1)に含まれる欠陥データを検出する画像データ比較装置であって、前記データ処理装置(15)には、前記設計データ(D2)に基づいて前記被検査用画像データ(D1)より細かい画素寸法で生成した基本画像データをあらかじめ生成し、前記基本画像データに基づいて前記被検査用画像データ(D1)と画素寸法が等しい前記比較用画像データ(D3)を生成する画素寸法調整回路(11)を備えたことを特徴とする画像データ比較装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/66
