特許

J-GLOBAL ID：200903054973712568

低表面張力アンモニア水組成物

発明者： 森川 文博 ,  吉川 晶久 ,  石川 典夫 ,  志保谷 孝雄
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社 ,  関東化学株式会社
代理人 (1件)： 南 孝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097516
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251416
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【構成】 アンモニア水にフッ素系界面活性剤(フルオロアルキルスルホンアミド化合物)を含有してなることを特徴とする低表面張力アンモニア水組成物及びこのアンモニア水組成物と過酸化水素水と水とよりなるウェハ洗浄液。【効果】 このアンモニア水組成物は、過酸化水素水、水との混合液として用いる場合、シリコンウェハの洗浄の際に、表面張力が小さく、ウェハに対する濡れ性が良いと同時に、微粒子の除去能力が高く、ピットの発生などのシリコンウェハへのダメージも抑制することができる。

請求項（抜粋）：

一般式R1SO2NR2-X-H [1](式中、R1はフルオロアルキル基を表し、R2は水素原子または低級アルキル基を表し、XはCH2COOまたは(CH2CH2O)nを表す。ここでnは1から20である。)で示されるフルオロアルキルスルホンアミド化合物よりなるフッ素系界面活性剤をアンモニア水に含有せしめたことを特徴とする低表面張力アンモニア水組成物。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  C11D 10/02 ,  G03F 7/32 501 ,  G03F 7/40 ,  C11D 1:12 ,  C11D 7:02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第1349741号
  
• 特許第1388871号
  
• 特開平2-240285
  
• 特開昭62-109985