特許
J-GLOBAL ID：200903054980611050
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206254
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【構成】誘電材料からなる板状体1の上面を吸着面1aとするとともに、該板状体1の下面を導電性接着剤層2を介在させてベース3に固定し、かつ上記導電性接着剤層を内部電極とすべく通電手段を備えて静電チャックを構成する。【効果】吸着面1aの全面にわたって内部電極を形成することができるため、シリコンウェハなどの被吸着物Hを周辺部まで完全に固定矯正することができ、EB露光、ドライエッチング加工などを行う際に歩留まりを下げることなく精密な加工を行うことができる。また、内部電極を埋設する必要がなく構造が簡単であるから、製造が容易である。
請求項（抜粋）：
上面を吸着面とした誘電材料からなる板状体の下面を導電性接着剤層を介在してベースに固定し、かつ上記導電性接着剤層を内部電極とすべく通電手段を備えてなる静電チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
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