特許
J-GLOBAL ID：200903054989558550
ダイボンデイング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287590
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129349
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【構成】 マッピングシステムにおける基準チップと同じパターンチップが複数個連続して存在する場合に、基準チップの位置をルール化し、そのルール化に従って基準チップの位置出しを行う。【効果】 基準チップと同じパターンのチップが複数個連続している場合において、ウェハの頭出しを確実且つ容易に行うことができる。
請求項（抜粋）：
前半テストの結果たるマップデータを記憶するマップデータ記憶部と、セットされたウェハを前記マップデータに基づいて移動させるウェハ移動機構と、ピックアップ位置にあるチップを前記マップデータに基づいてピックアップするピックアップ機構と、ウェハ移動機構にセットされたウェハの中の基準チップのウェハ移動機構における座標を基準チップ座標として記憶する座標記憶部と、次のウェハがセットされた際に前記座標記憶部に記憶されている基準チップ座標に位置するチップが基準チップ以外のチップであれば、基準チップを発見するまで前記ウェハ移動機構を駆動する自動アライメント機構とを具備しており、前記座標記憶部は、新たなウェハの基準チップが発見されたならば、その基準チップのウェハ移動機構における座標を新たな基準チップ座標として記憶し、前記自動アライメント機構は、座標記憶部に記憶されている基準チップ座標に基準チップのパターン以外のチップが位置する場合に基準チップと同パターンのチップを発見するまで基準チップ座標に位置するチップを中心とした螺旋状にウェハ移動機構を駆動し、且つ、前記自動アライメント機構は、基準チップと同パターンのチップが複数個連続している場合において基準チップの位置をルール化し、基準チップの位置を認識する為、画像認識によりウェハ移動機構を駆動することを特徴とするダイボンディング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/52
, H01L 21/68
, H01L 21/78
