特許
J-GLOBAL ID：200903054993793971
粘着テープの粘着力制御方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300033
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136248
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 一種類の粘着テープで複数種の対象物の粘着保持に対応することが可能な粘着テープの粘着力制御技術を提供する。【構成】 ウェハリング20の粘着テープ21に粘着保持された半導体ウェハ22の裏面領域に対する紫外線4aの照射時間をシャッタ6の開閉によって制御することにより、粘着テープ21における粘着剤21aの半導体ウェハ22に対する粘着力を所望の値に制御し、ペレット22aのサイズの大小に関係なく、ピックアップ時における離脱力を一定に制御する。
請求項（抜粋）：
表面に塗布された粘着剤によって所望の対象物を保持する粘着テープの粘着力制御方法であって、前記粘着剤に対するエネルギドーズ量を制御することにより、前記粘着剤の前記対象物に対する粘着力を所望の値に制御することを特徴とする粘着テープの粘着力制御方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/78
, C09J 7/02 JKF
