自動焦点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-250593
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096848
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、自動焦点検出の高速化と高精度化を実現できる自動焦点検出装置を提供する。【解決手段】入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズ3の光学的特性と入れ替え前の対物レンズによる標本画像の周波数分布の特徴から、対物レンズ3の入れ替えた後の標本2に関する画像状態の周波数分布の注目すべき範囲を予測し、この注目周波数帯域について、鮮明度レベルが最大になるように、ステージ1を上下動させながら合焦点検出動作を行う。

請求項（抜粋）：

標本を載置するステージと、前記ステージ上の標本に対する光路中に選択的に挿入される光学条件の異なる複数の対物レンズと、前記標本の画像が前記対物レンズより結像光学系を介して投影されるイメージセンサーと、このイメージセンサーより出力される前記標本の画像信号に基づいて前記標本画像の特徴要素を演算する画像信号演算手段と、前記光路に選択的に挿入される対物レンズの入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズの特徴および入れ替え前の標本画像の特徴要素から対物レンズ入れ替え後の標本画像の特徴要素を予測する予測手段と、この予測手段により予想された標本画像の特徴要素に基づいて前記ステージ上の標本に対する合焦動作を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする自動焦点検出装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 , G02B 7/36 , G02B 21/26 , G03B 13/36

FI (4件)：

G02B 7/11 J , G02B 21/26 , G02B 7/11 D , G03B 3/00 A

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