特許

J-GLOBAL ID：200903055006824662

位置検出装置

発明者： 菅谷 綾子 ,  中川 正弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323514
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183186
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 低段差マークであっても高いコントラストの像を撮像して、高精度に位置検出を行う。【構成】 凹凸パターンよりなるウエハマークWMの像を結像光学系32を介して撮像面33上に結像し、撮像面33上の像の位置を検出する。ウエハマークのピッチp、及び段差θ等に応じて、ウエハマークWMの平均面をベストフォーカス面34から、結像光学系32の光軸AX方向にデフォーカスさせることにより、ウエハマークWMから撮像面33に向かう光束に回転対称の波面収差を付与し、得られる像のコントラストを最大にして位置検出を行う。

請求項（抜粋）：

被検物上に形成された位置検出用のマークを照明する照明光学系と、前記位置検出用のマークからの光を集光して前記位置検出用のマークの像を形成する結像光学系と、前記位置検出用のマークの像を撮像する撮像手段と、を有し、該撮像手段からの撮像信号に基づいて前記被検物上の前記位置検出用のマークの所定の計測方向への位置ずれ量を検出し、該位置ずれ量に基づいて前記被検物の位置を検出する装置において、前記撮像手段からの撮像信号のコントラストを高めるために、前記位置検出用のマークからの検出対象とする光束に対して、前記被検物上の前記所定の計測方向に沿った方向に、前記結像光学系の光軸に関して対称な波面収差を与える波面収差付与手段を設けたことを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 P ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 525 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-278402