特許

J-GLOBAL ID：200903055007051497

多重反射セル及びその調整方法

発明者： 宮崎 康則 ,  朝長 成之 ,  木村 嘉勝
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 田中 重光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-150270
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005232
出願日： 1995年06月16日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】多重反射セルの凹面鏡で反射する光の焦点を調整し,鏡面間の反射回数を増加させる。【構成】対向して設けた1枚の凹面鏡7と複数組の凹面鏡8,9を配置した外筒容器の一部にベローズ13を設け,可動ステージ22により前記対向する凹面鏡間7,8,9の距離を可変とする。外筒容器の外部からレーザー透過窓28を通過させ,1枚の凹面鏡7に向けてレーザー光を入射することで,同凹面鏡7のあおりを調節した後,同凹面鏡7に角度をもたせて入射したレーザー光が所望の位置に反射するよう同凹面鏡7の位置を前記可動ステージ22で調節する。これにより,対向する凹面鏡7,8,9間の焦点を調整する。

請求項（抜粋）：

試料ガスの導入口及び排出口を設けた外容器と,同外容器内の端部に設けた第1の凹面鏡と,外容器内の他端に前記第1の凹面鏡に対向して設けた複数組の第2の凹面鏡と,前記第1の凹面鏡及び第2の凹面鏡のあおりを調節する調節手段と,前記第1の凹面鏡を設置した側の外容器端部に設けたレーザー光透過窓から成る多重反射セルにおいて,外容器に設けた外容器伸長手段と,同外容器の一端部に設けた可動ステージと,第2の凹面鏡を設置した側の外容器端部に設けた2枚のレーザー光透過窓を有したことを特徴とする多重反射セル。