部分コヒーレント照明方法、露光方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：薄田利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114361
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326004
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】投影露光に用いられるマスク上の特定部分に対して選択的に空間的コヒーレンシィを変化させる。【構成】物体(マスク)3上のパターンを投影光学系(レンズ)4を介して結像面(基板)5上に投影露光する際、マスク3上に密着させるか、もしくはこれと共役な位置において、マスク上の全部又は一部領域に達する光の波面に、適当な空間的及び時間的な乱れを与える。【効果】パターンの性質の異なる複数の機能ブロックを含むLSIに対して、各ブロック毎に最高の解像度が得ることができ、高度な機能を有するシステムLSIを実現することができる。

請求項（抜粋）：

光源から発した光を物体に照射するに際し、物体の直上もしくは物体とほぼ共役な位置において、物体に達する光の波面に対して物体の最小寸法とほぼ同程度の周期の空間的な乱れを与え、かつ上記乱れを時間的に変化させる段階を有して成る部分コヒーレント照明方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 27/00 , G03F 7/20 521 , G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 N

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