特許

J-GLOBAL ID：200903055015554325

位置決め装置

発明者： 鈴木 亮一 ,  鳥海 正樹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172257
公開番号（公開出願番号）：特開平5-016048
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】この発明は、縦型ステ-ジ上にワ-クを精度よく位置決めすることができる位置決め装置を提供することを目的とする。【構成】基板Wを保持する保持面2aがほぼ垂直に形成された縦型ステ-ジ2と、上記保持面2aに突設されこの保持面2aに供給された基板Wを位置決めするための複数の固定ピン12a、12bと、上記保持面2aから加圧流体を噴出させこの流体の流れによって上記ワ-クを上記保持面に非接触状態で保持する供給ポンプ11と、この供給ポンプ11によって上記保持面2aに非接触状態で保持された基板Wを上記固定ピン12a、12b押し付けて位置決めする可動ピン18と、この可動ピン18によって位置決めされた基板Wを上記保持面2aに吸着保持する真空ポンプ6とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワ-クを保持する保持面がほぼ垂直に形成された縦型ステ-ジと、上記保持面に突設されこの保持面に供給されたワ-クを位置決めするための複数の位置決め部材と、上記保持面から加圧流体を噴出させこの流体の流れによって上記ワ-クを上記保持面に非接触状態で保持する流体供給手段と、この流体供給手段によって上記保持面に非接触状態で保持されたワ-クを上記位置決め部材に押し付けて位置決めする押圧手段と、この押圧手段によって位置決めされたワ-クを上記保持面に吸着保持する吸着手段とを具備したことを特徴とする位置決め装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-297010
  
• 特開昭62-297010