シリコン粉末の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-093367
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279841
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題とするところは、高純度のシリコン粉体を作製し、10%以上の効率を達成できる太陽電池用シリコン精製方法を提供するものである。【解決手段】本解決手段ではシリコン塊を水中或いは薬液を添加した水中にて切断、破砕、粉末化を行う工程を備えたものである。

請求項（抜粋）：

シリコン塊或いはシリコンウェーハを機械的に破砕、粉砕し、粉末化する方法をフッ酸を含む水溶液中で行うことを特徴とするシリコン粉末の製造方法。

IPC (3件)：

B02C 23/36 , B02C 19/06 , H01L 31/04

FI (3件)：

B02C 23/36 , B02C 19/06 A , H01L 31/04 X

Fターム (3件)：

4D067CA03 , 4D067EE41 , 5F051CB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

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