特許
J-GLOBAL ID：200903055026148817
圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236920
公開番号（公開出願番号）：特開2002-058260
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：
【要約】【課題】 ケース形バネの質量低減及び固有振動数の向上を計ることで広帯域な動作周波数を有する高速で高応答な圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】 この圧電アクチュエータの場合、従来通りに開口側から一軸方向に延びた積層型圧電素子1を収納した状態で一軸方向と合致する伸縮方向に圧縮予圧荷重を付与する金属製のケース形バネ2bと、バネ2bの開口側から装着されて圧電素子1及びバネ2bを保持する底部材3と、バネ2bに係止されて所定の引っ張り荷重をかけた状態で底部材3と固定されるフランジ4とを備えて構成されているが、ここではバネ2bにおける圧電素子1の伸縮方向に延びた側面部2b1 と開口側と反対側の端面部2b2 とが波状可撓部(ベローズ)を持たないように平坦に形成され、且つ圧電素子1の駆動時に発生する応力が均一化されるように側面部2b1 の肉厚が端面部2b2 の肉厚よりも薄く形成されている。
請求項（抜粋）：
開口側から一軸方向に延びた圧電素子を収納した状態で該圧電素子の一端面が当接される当接面を有すると共に、該圧電素子の該一軸方向と合致する伸縮方向に圧縮予圧荷重を付与するケース形バネと、前記ケース形バネの前記開口側から前記ケース形バネに装着されて凸部の頂面が前記圧電素子の他端面に当接された状態で該圧電素子及び該ケース形バネを保持する底部材と、前記ケース形バネに係止されて所定の引っ張り荷重をかけた状態で前記底部材と固定されるフランジとを備えた圧電アクチュエータにおいて、前記ケース形バネは、前記圧電素子の前記伸縮方向に延びた側面部と前記当接面を形成する前記開口側と反対側の端面部とが波状可撓部を持たないように平坦に形成されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 R
