特許
J-GLOBAL ID:200903055027015276
光導波路と光ファイバの接続方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-068161
公開番号(公開出願番号):特開平5-273435
出願日: 1992年03月26日
公開日(公表日): 1993年10月22日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 煩雑な調心作業を軽減しつつ接続損失を抑制して光を円滑に伝送することのできる光導波路と光ファイバの接続方法を提供する。【構成】 複数の光導波路をもつ光導波路基板1の接続端面11には両側端の光導波路10のコア直上部に嵌合用のネガレジスト凸部101を形成する。また、複数の光ファイバをもつ光ファイバアレイ2の接続端面21には両側端の光ファイバ20のコア直上部に嵌合用の凹部をもつポジレジスト層201を形成する。そして、接続端面11と21とを対向させ、ネガレジスト凸部101とポジレジスト層201の凹部とを突き合わせて接続する。つぎに、光導波路および光ファイバに接続面の反対側から光を入射して、ポジ型レジストおよびネガ型レジストを感光させ、現像する。
請求項(抜粋):
複数の光導波路を有し、この光導波路と略直交する実質的に平坦な接続端面を有する光導波路基板と、複数の光ファイバを収容し、この光ファイバと略直交する実質的に平坦な接続端面を有する光ファイバアレイとの接続方法において、前記光導波路基板および前記光ファイバアレイのいずれか一方の前記接続端面にネガ型ホトレジストを塗付し、また、他方の前記接続端面にポジ型ホトレジストを塗付する第1のステップと、前記接続端面の反対側の端より、少なくとも1対の前記光導波路のコアおよび前記光ファイバのコアに紫外線を入射し、前記接続端面の前記コアの直上部の前記ネガ型ホトレジストおよび前記ポジ型ホトレジストを感光させる第2のステップと、これら前記ネガ型ホトレジストおよび前記ポジ型ホトレジストを現像し、前記一方の接続端面の前記コアの直上部にネガレジスト凸部を形成し、また、前記他方の接続端面の前記コアの直上部にポジレジスト凹部を形成する第3のステップと、前記ネガレジスト凸部と前記ポジレジスト凹部とを凹凸嵌合させて、対となった前記光導波路基板と前記光ファイバアレイとを前記接続端面で相互に連接させる第4のステップとを備えることを特徴とする光導波路と光ファイバの接続方法。
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