分析液体の供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-011517
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264412
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 “ドロップオンデマンド”法よりも多くかつ希釈器や調合器でえられる最少量よりも少ない、厳密に決められた量の分析液体を、きわめて高精度にターゲットへ供給することができる装置を提供する。【構成】液体がノズル放出口3を通してノズル2から少量、パルス方式でターゲットへ放出される分析液体7のターゲット5への調整供給装置であって、分析液体が加圧下に保持される圧力チャンバー1からなり、バルブ口23と、位置決め素子12によって動く閉鎖素子13とを有するバルブユニット11が備えられ、バルブ口23が閉鎖する間の閉鎖素子13の動きによって液体の放出が維持されるようにバルブユニット11が組み立てられていることを特徴とする装置。

請求項（抜粋）：

液体がノズル放出口(3)を通してノズル(2)から少量、パルス方式でターゲット(5)へ放出される分析液体(7)のターゲットへの供給装置であって、分析液体が加圧下に保持される圧力チャンバー(1)からなり、圧力チャンバー(1)からノズル放出口(3)までの液体の流路にバルブ口(23)と、バルブ口(23)の開閉のための位置決め素子(12)によって動く閉鎖素子(13)とを有するバルブユニット(11)が備えられ、および、バルブ口が閉鎖するあいだ、閉鎖素子(13)の動きによって液体の放出が維持されるようにバルブユニット(11)が組み立てられていることを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01N 1/00 101 , B05C 5/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭61-036181
特公昭61-036181
特開昭52-017539

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