特許

J-GLOBAL ID：200903055031156674

現像液の調整方法及び調整装置

発明者： 戸田 昭三 ,  関 康雄 ,  釘澤 伸一
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  ティーオーケーエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082316
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278635
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 温度によって影響されることがない濃度測定を行うことで、現像液の調整を容易に行えるようにする。【構成】 希釈した現像液の一部を赤外分光光度計を組み込んだ分析装置4に送り、この分析装置4で濃度を分析し、この分析値に基づいて所定濃度とするために混合タンク内に加えなければならない現像原液または純水の量を算出する。そしてこの算出値に基づいて加えなければならない現像原液または純水の一方を再び混合タンク内に供給する。所定量の現像原液または純水が加えられたか否かはロードセル16にて混合タンク2の重量を測定することによって行なう。

請求項（抜粋）：

混合タンク内に現像原液と純水とを供給して混合し、この混合液の一部を取り出してその濃度を分析し、この分析値に基づいて所定濃度とするために混合タンク内に加えなければならない現像原液または純水の量を算出して混合タンク内に現像原液または純水を供給するようにした現像液の調整方法において、前記混合液の濃度分析は赤外分光光度計を用いて行うことを特徴とする現像液の調整方法。

IPC (4件)：

G03F 7/30 501 ,  B01F 3/08 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/30 501 ,  B01F 3/08 Z ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/30 569 E