ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244963
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075478
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表されるキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物である。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価〜8価の有機基であり、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価〜6価の有機基であり、R3は水素、または炭素数1〜20までの有機基である。nは10〜100000までの整数、mは0〜2までの整数、p、qは0〜4までの整数を示す。p、qは同時に0にならない。)【化2】(R4は1〜10個の窒素原子を含む複素環である。bは1〜10までの整数を示す。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表されるキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価〜8価の有機基であり、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価〜6価の有機基であり、R3は水素、または炭素数1〜20までの有機基である。nは10〜100000までの整数、mは0〜2までの整数、p、qは0〜4までの整数を示す。p、qは同時に0にならない。)【化2】(R4は1〜10個の窒素原子を含む複素環である。bは1〜10までの整数を示す。)

IPC (4件)：

G03F 7/022 601 , C08K 5/28 , C08L 79/08 , G03F 7/037 501

FI (4件)：

G03F 7/022 601 , C08K 5/28 , C08L 79/08 , G03F 7/037 501

Fターム (18件)：

2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB24 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025FA17 , 4J002CM041 , 4J002EV216 , 4J002FD010 , 4J002FD140 , 4J002FD310 , 4J002GP03

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