特許
J-GLOBAL ID：200903055034989359
原子間力顕微鏡用プローブ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241470
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090287
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーに圧電薄膜型変位センサーを設けたAFMのプローブにおいて、急峻な凹凸の表面をもつ試料であっても観察可能なプローブとその製造方法を提供する。【解決手段】 カンチレバーの先端部に設けた探針を1μm 以上の長さと三角錐形状のシリコン製とし、且つ、この探針の先端から1μm までの部分におけるアスペクト比を5以上とする。本発明のAFM用プローブの製造方法は、(100)単結晶シリコンウェハを異方性エッチングしてカンチレバーを作製し、同一のシリコンウェハに対して酸化と異方性エッチングを交互に繰り返して探針を作製する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、該カンチレバーの下面の先端部に設けられた探針と、前記カンチレバーの上面に設けられた圧電薄膜変位センサーと、から成る原子間力顕微鏡用プローブにおいて、前記探針は、前記カンチレバーと同一のシリコンウェハから作製され、1μm以上の長さと三角錐形状を有し、且つ、前記探針の先端から1μm までの部分におけるアスペクト比が5以上である、ことを特徴とする原子間力顕微鏡用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
