特許
J-GLOBAL ID：200903055035261677
チップイントレイ検査用プレート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350946
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186373
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】複数のトレイを効率よく位置決めして保持することが出来るチップイントレイ検査用プレートを提供する。【解決手段】プレート本体(1、31)と、プレート本体(1、31)に取り付けられた複数の機械式保持機構(11、41)とを有し、各保持機構(11、41)が半導体チップ用トレイ(9、39)を脱着自在に保持する構成になっていることを特徴とするチップイントレイ検査用プレート。各保持機構(11、41)が、トレイ(9、39)の一方の隅部(19a)に推力を付与するための推力付与手段(14、44)と、その一方の隅部(19a)に対して対角方向に位置する他方の隅部(19b)を支持するための支持部材(4、34)を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プレート本体(1、31)と、プレート本体(1、31)に取り付けられた複数の機械式保持機構(11、41)とを有し、各保持機構(11、41)が半導体チップ用トレイ(9、39)を脱着自在に保持する構成になっていることを特徴とするチップイントレイ検査用プレート。
IPC (3件)：
H01L21/68
, G01N21/84
, H01L21/66
H01L21/68 U
, H01L21/68 G
, G01N21/84 C
, H01L21/66 J
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051DA20
, 4M106AA02
, 4M106AA04
, 4M106BA04
, 4M106CA41
, 4M106DB30
, 5F031CA13
, 5F031DA05
, 5F031HA27
, 5F031HA30
, 5F031KA02
, 5F031MA33
