特許
J-GLOBAL ID：200903055042924827
帯状体の表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
矢葺 知之
, 津波古 繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-296935
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132800
出願日： 2002年10月10日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】時間遅延積分型ビデオカメラを用いた表面欠陥検査装置において、低い光強度の光源により任意の撮像角度で帯状体面を撮像し、表面欠陥を検出することができる帯状体の表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体1の表面に帯状体1を横切る線状光12を照射する照明装置10と、帯状体面で反射された線状光12の反射像を撮像する時間遅延積分型ビデオカメラ20とを備えている。前記線状光12の幅は前記ビデオカメラ20の受光面幅より狭く、前記ビデオカメラ20の画素列のシフト速度が帯状体1の移動速度に対し無関係な一定速度に調整されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
移動する帯状体の表面に帯状体を横切る線状光を照射する照明装置と、帯状体面で反射された線状光の反射像を撮像する時間遅延積分型ビデオカメラとを備えた帯状体の表面欠陥検査装置において、前記線状光の幅が前記ビデオカメラの受光面幅より狭く、かつ前記ビデオカメラのシフト速度が帯状体の移動速度と無関係に一定速度であることを特徴とする帯状体の表面欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BA20
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
